国家标准《微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位合肥美的电冰箱有限公司、中机生产力促进中心有限公司、无锡华润上华科技有限公司、苏州大学、微纳感知（合肥）技术有限公司、宁波科联电子有限公司、西北工业大学、美的集团股份有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、华东电子工程研究所（中国电子科技集团公司第三...
基础信息
采标情况
本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-14:2012。
采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第14部分：金属薄膜材料成形极限测量方法。
起草单位
合肥美的电冰箱有限公司
无锡华润上华科技有限公司
微纳感知（合肥）技术有限公司
西北工业大学
深圳市美思先端电子有限公司
上海临港新片区跨境数据科技有限公司
安徽北方微电子研究院集团有限公司
中机生产力促进中心有限公司
苏州大学
宁波科联电子有限公司
美的集团股份有限公司
华东电子工程研究所（中国电子科技集团公司第三十八研究所）
北京晨晶电子有限公司
起草人
曹诗亮
李根梓
孙立宁
许磊
王春举
钱峰
张红旗
张启心
王文婧
马卓标
胡永刚
王雄伟
王学文
张森
武斌
汤一
陈林
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