发布日期：2024-03-15
实施日期：2024-10-01
状态：现行
国家标准《微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。主要起草单位广东省科学院工业分析检测中心、南方科技大学、胜科纳米（苏州）股份有限公司。主要起草人伍超群 、于洪宇 、乔明胜 、陈文龙 、周鹏 、邱杨 、黄晋华 、汪青 、程鑫 。
基础信息
采标情况
暂无
起草单位
广东省科学院工业分析检测中心
胜科纳米（苏州）股份有限公司
南方科技大学
起草人
伍超群
于洪宇
周鹏
邱杨
程鑫
乔明胜
陈文龙
黄晋华
汪青
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